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文檔簡介
1、該文主要研究的方向是MQCM的設(shè)計(jì)優(yōu)化,主要工作集中在MQCM的諧振元振動耦合問題研究.具體作了以下幾項(xiàng)工作.(1)首先對當(dāng)今世界范圍內(nèi)在MQCM這一領(lǐng)域的研究及應(yīng)用狀況進(jìn)行了全面的介紹.(2)繼而在MQCM的諧振元振動耦合數(shù)值計(jì)算方面,利用有限元方法,對MQCM的振動耦合進(jìn)行了計(jì)算.(3)在MQCM的實(shí)驗(yàn)研究方面,簡單描述了在MQCM元件加工過程中用到的各種工藝,介紹了作者自行設(shè)計(jì)加工的MQCM元件.對這套元件進(jìn)行了初步的實(shí)驗(yàn)研究,觀
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