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1、 石英晶體微天平(QCM)作為一種新型的高精度測量工具,具有結(jié)構(gòu)簡單,成本低,測量精度高,可以實時在線地測量等一系列優(yōu)點?! ?本文在調(diào)研大量的參考文獻的基礎(chǔ)上,對QCM的工作原理從理論上進行了探索。在進行理論分析時,著重于分析獨立的平面型QCM的工作原理,以石英諧振器的等效電路為基礎(chǔ),通過詳細計算得出諧振器的四個典型的頻率點,這些頻率點是電路的測量目標。在獨立平面型QCM的基礎(chǔ)上,對目前新出現(xiàn)的QCM陣列和加槽型QCM的測量
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