基于微細(xì)加工的微型固態(tài)染料激光器的研究.pdf

1、 在這篇論文中設(shè)計制造了一種正方形的微諧振腔型的固態(tài)染料激光器，采用的激光染料是羅丹明6G，所選用的基質(zhì)材料有三種，分別是聚甲基丙烯酸甲酯PMMA、PDMS和SU-8光刻膠。這三種基質(zhì)材料都可以用微細(xì)加工的方法來制造其它的實驗室單個組件如光波導(dǎo)、微型流體通道，化學(xué)混和腔等等。所以用上面三種材料作為基質(zhì)材料制得染料激光器將來可以和這些組件采用同樣的加工方法集成在一起，從而解決一些光學(xué)器件需要的對準(zhǔn)的問題（比如光源和輸出光纖的對準(zhǔn)問題）。

2、在工藝方法上，PMMA和PDMS染料激光采用的是做模澆鑄的方法，其中，PMMA染料激光采用的是硅模，是用深反應(yīng)離子刻蝕所制備的，PDMS染料激光是采用光刻SU-8作為模子澆鑄的，SU-8染料激光是采用直接光刻摻有染料的SU-8所得到的。在調(diào)Q的Nd：YAG激光器的二次諧波（532nm）的泵浦下，PMMA基質(zhì)的染料激光中得到600nm波長附近的多模激光輸出，在PDMS和SU-8中都得到在592nm左右的單模激光。輸出激光的強度均隨著泵浦激