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2、本人承擔(dān)一切的法律責(zé)任。本人簽名:釁西安電子科技大學(xué)關(guān)于論文使用授權(quán)的說(shuō)明本人完全了解西安電子科技大學(xué)有關(guān)保留和使用學(xué)位論文的規(guī)定,即:研究生在校攻讀學(xué)位期間論文工作的知識(shí)產(chǎn)權(quán)單位屬西安電子科技大學(xué)。學(xué)校有權(quán)保留送交論文的復(fù)印件,允許查閱和借閱論文;學(xué)??梢怨颊撐牡娜炕虿糠謨?nèi)容,可以允許采用影印、縮印或其它復(fù)制手段保存論文。同時(shí)本人保證,畢業(yè)后結(jié)合學(xué)位論文研究課題再撰寫(xiě)的文章一律署名單位為西安電子科技大學(xué)。(保密的論文在解密后遵守此
3、規(guī)定)本人簽名:導(dǎo)師簽名:量域燃)日期:至型l!墨,!1日期:幽:3:llZ摘要準(zhǔn)確地測(cè)量微波集成電路及高速器件的高頻特性,是微波集成電路與器件發(fā)展的重要條件。傳統(tǒng)的測(cè)試方法是把芯片封裝后放在測(cè)試盒中進(jìn)行測(cè)試,由于封裝的影響,無(wú)法精確地得到集成電路及其器件的高頻性能。微波在片測(cè)試技術(shù)的出現(xiàn)解決了這一難題。應(yīng)用微波在片測(cè)試技術(shù),在半導(dǎo)體芯片封裝之前,直接在芯片上對(duì)集成電路和器件進(jìn)行高頻性能測(cè)試,實(shí)現(xiàn)在片篩選,提高了微波半導(dǎo)體工業(yè)的生產(chǎn)效率
4、。本文主要研究了用矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀與微波探針臺(tái)測(cè)量在片器件的問(wèn)題。首先從矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀的測(cè)量體系結(jié)構(gòu)入手,分析測(cè)量過(guò)程中的誤差來(lái)源與描述方法,介紹誤差修正理論的基本原理。通過(guò)對(duì)TRL校準(zhǔn)方法原理的分析與公式推導(dǎo),分析了TRL校準(zhǔn)方法的本質(zhì),并編制了相應(yīng)的TRL校準(zhǔn)程序。根據(jù)微波探針的尺寸和所需要測(cè)量的頻率范圍設(shè)計(jì)了對(duì)應(yīng)的TRL校準(zhǔn)件,并對(duì)TRL校準(zhǔn)方法中多條延遲線的選取問(wèn)題做了一些探討。最后,用PC機(jī)、矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀和微波探針臺(tái)搭建了在片
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