電介質薄膜材料微波性能參數測試方法研究.pdf

1、隨著科學技術的發(fā)展，電路和元器件正朝著薄膜化、集成化的方向發(fā)展。電介質薄膜材料作為薄膜材料，正因順應這一發(fā)展趨勢而得以廣泛地研制和應用。目前電介質薄膜材料的應用已進入微波頻段，因此，在微波頻段準確地測試電介質薄膜材料微波電磁參數對薄膜材料的研制和微電子器件、電路的設計是至關重要的。本文對電介質薄膜材料的測試技術進行了系統(tǒng)的研究，提出了相應的測試方法。主要內容如下： 1.通過對國內外相關技術的分析，依據電介質薄膜的物理特性，確定了

2、共面波導結構測試方案，并對測試過程中出現的幾種共面波導結構進行了準靜態(tài)分析。 2.在諧振法上，確定了測試夾具的等效復介電常數與測試參數之間的關系，并從測試夾具的等效復介電常數中提取出電介質薄膜材料的復介電常數。建立了由矢量網絡分析儀、轉接頭、測試電路、耦合裝置、加壓裝置和固定裝置組成的諧振法測試系統(tǒng)。并在在1～4GHz的頻率范圍內，對多個電介質薄膜材料進行了測量。 3.在傳輸法上，采用去嵌入方法確定了測試夾具的等效復介電