光刻機(jī)橡膠隔振墊靜態(tài)及整機(jī)動(dòng)態(tài)特性分析與優(yōu)化.pdf

1、光刻機(jī)是太陽(yáng)能電池生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)備，而主基板與工件臺(tái)是光刻機(jī)的核心部件。整機(jī)框架為主基板與工件臺(tái)的支撐部件，其內(nèi)部風(fēng)機(jī)振動(dòng)影響主基板的穩(wěn)定性與工件臺(tái)的準(zhǔn)確定位。橡膠墊安裝在整機(jī)框架與主基板之間用來(lái)隔振，其承載特性直接影響主基板與工件臺(tái)工作面的水平度，進(jìn)而影響光刻機(jī)加工精度。主基板與工件臺(tái)的振動(dòng)響應(yīng)，結(jié)構(gòu)低階模態(tài)頻率是反映光刻機(jī)動(dòng)態(tài)特性的關(guān)鍵指標(biāo)，亦會(huì)影響光刻機(jī)加工精度。因此，為了提高光刻機(jī)加工精度與系統(tǒng)穩(wěn)定性，對(duì)光刻機(jī)橡膠隔振墊靜態(tài)特性與

2、光刻機(jī)動(dòng)態(tài)特性進(jìn)行分析與優(yōu)化顯得十分必要。
　　 首先，通過(guò)有限元分析軟件Pro/Mechanica對(duì)光刻機(jī)進(jìn)行自重下的靜態(tài)特性分析，驗(yàn)證了光刻機(jī)微孔發(fā)泡橡膠隔振墊的強(qiáng)度設(shè)計(jì)不合理，對(duì)此將其更換為密實(shí)橡膠材料，并進(jìn)行同樣條件的靜態(tài)特性分析，分析結(jié)果表明密實(shí)橡膠隔振墊承載特性較好，且強(qiáng)度設(shè)計(jì)合理。其次，對(duì)光刻機(jī)進(jìn)行模態(tài)與諧響應(yīng)分析，旨在了解結(jié)構(gòu)的固有振動(dòng)特性，并通過(guò)激勵(lì)點(diǎn)與測(cè)量點(diǎn)的位移一頻率曲線驗(yàn)證了橡膠墊的高頻隔振特性。最后，以