移相式斐索中波紅外干涉儀關鍵技術及應用研究.pdf

1、紅外干涉儀在球面及非球面元件的高精度檢測中有著不可或缺的作用，而中波紅外干涉儀因其波段的特殊性，更是在軍事、航天、能源等領域的光學應用中有著獨特地位。本文應國內(nèi)行業(yè)需要，重點研究中波紅外干涉儀研制中的關鍵技術。
　　總結了紅外干涉儀尤其是中紅外干涉儀的國內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀，通過對紅外干涉儀的原理分析。在現(xiàn)有斐索型干涉儀的基礎上提出了口徑100mm的移相式斐索中波紅外干涉儀的設計方案，主要包括了光路的設計（雙三角式轉(zhuǎn)折光路）及移相算法的分

2、析和改進。
　　研究了移相式斐索中波紅外干涉儀的裝調(diào)、大伸長量移相器的機構標定測試及中紅外激光干涉系統(tǒng)雜散光等系列問題。建立了波長為4.41μm，口徑為φ100mm的移相式中紅外干涉測量系統(tǒng)。
　　同時開展了應用測試研究，測試了口徑為φ20mm的非球面元件的面形誤差、口徑為φ30mm的硫系玻璃的折射率均勻性，給出了測試結果的三維波面圖。應用近似理想的標準平面與球面對該中波紅外干涉測量系統(tǒng)進行了不確定度分析，系統(tǒng)測量的不確定度