自適應(yīng)逆控制在直線電機(jī)控制系統(tǒng)中的應(yīng)用.pdf

1、隨著電子工業(yè)的飛速發(fā)展，晶片的應(yīng)用范圍越來越大，晶片加工技術(shù)也越來越受到重視，它反映出一個(gè)國(guó)家IC制造業(yè)的規(guī)模和工藝水平。多線切割是切割大直徑硅單晶棒非常有效的方法之一，但其伺服進(jìn)給一般采用旋轉(zhuǎn)電機(jī)+滾珠絲杠方式，本課題采用的直線電機(jī)可消除旋轉(zhuǎn)電機(jī)由旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)到直線運(yùn)動(dòng)的機(jī)械傳動(dòng)鏈的影響，具有更高的動(dòng)態(tài)響應(yīng)能力和優(yōu)良特性，是當(dāng)前的一種發(fā)展趨勢(shì)。
　　現(xiàn)代數(shù)控系統(tǒng)要求伺服控制向高精度、高速度方向發(fā)展，以適應(yīng)生產(chǎn)的需要，這就要求必須提高

2、伺服系統(tǒng)的控制精度。本文在對(duì)線切割機(jī)工作臺(tái)單軸直線伺服系統(tǒng)的進(jìn)給控制問題進(jìn)行了較為深入研究的基礎(chǔ)上，提出一種改進(jìn)的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)BP算法，用分層學(xué)習(xí)率和熵函數(shù)的方法提高了算法的學(xué)習(xí)效率和精度，并結(jié)合自適應(yīng)逆控制方法，設(shè)計(jì)了直線永磁同步伺服電機(jī)的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)自適應(yīng)逆控制系統(tǒng)，給出了NNC和NNI的詳細(xì)結(jié)構(gòu)。
　　傳統(tǒng)的控制算法是建立在電動(dòng)機(jī)數(shù)學(xué)模型的基礎(chǔ)上的，系統(tǒng)的控制性能往往受模型的精確程度和電動(dòng)機(jī)的參數(shù)影響較大，而且調(diào)節(jié)器必須在跟蹤與消噪