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1、浙江大學(xué)碩士學(xué)位論文PSD特性研究及陣列器件研制姓名：陳冬嚴(yán)申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：光學(xué)工程指導(dǎo)教師：林斌20050121浙江大學(xué)碩卜學(xué)位論文AbstractPositionSensitiveDetector(PSD)isaphotoelectricdeviceutilizingthelateralphotoelectriceffect.PSDhastheadvantagessuchashigherresolutionfastrespo
2、nsespeedandsimpleperipheralcircuitandissuitablefortheprecisemeasurementofpositiondistance.displaceangleandotherrelevantphysicalvariable.InthefirstsectiontherecentdomesticandoverseasR&Dandapplicationconditionsandthetradit
3、ionaltheoryaboutPSDareintroduced.Basedonthesecalculationsitisfoundedthatthedelaytunewhentheelectrodebegintoresponseispositivelyrelatedwiththedistancebetweenthepositionwhereexcitationsilluminatedandthegeometricalcenterof1
4、DPSD.itisalsopointedoutthatwhenutilizedinhighspeedtransientdetectionmodulationrateis1(3.75Te).Finallytheconclusiontheu即erlimitofexcitingbeamthatPSDpositionresponseisbarycenteroftheexcitationbeamsandnotrelatedwiththeshape
5、andthedurationoftheexcitationsisconfirmedItisqutenecessarytofindouthowPSDconfigurationwillaffectPSDwavelengthresponsibilitybecausePSDisakindofwavelengthsensitivephomelectronicdevicewhichislimitedbyquantumeffect.Inthispap
6、ertheinfluenceofalllayersdepthofPSDPNjunctionanditssurfacereflectivitytoandoptimizewavelengthresponsibilityisdeeplystudiedtoofferguidancetodesignPSDforsomespecifiedapplicationsLinearityisoneofthekeycharacteristicandisstu
7、diedinthefollowingsectionusingelectricsimulationsoftwareandthePSDbounderyresistanceloadandsurfacediffluentresistanceareconsidered.Inthenextsectiontheworkof4x4PSDarraydesigningandfabricationisintroducedandthedarkcurrentre
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