2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁(yè)
已閱讀1頁(yè),還剩85頁(yè)未讀, 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說(shuō)明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請(qǐng)進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡(jiǎn)介

1、作為半導(dǎo)體芯片和TFT-LCD生產(chǎn)過程中關(guān)鍵材料,5N~6N的超高純鋁靶材在當(dāng)今的高新技術(shù)中起著不可估量的作用。高純鋁靶材的好壞直接決定著生產(chǎn)出來(lái)的半導(dǎo)體芯片以及TFT-LCD的質(zhì)量。衡量高純鋁靶材優(yōu)劣的指標(biāo)除了高純鋁靶材的純度,還要求高純鋁靶材具有細(xì)小的晶粒。本文旨在通過研究等通道轉(zhuǎn)角拉拔(ECAD)與多向鍛造加軋制細(xì)化高純鋁工藝,揭示高純鋁變形過程中的組織演變規(guī)律,為細(xì)晶高純鋁靶材的生產(chǎn)提供技術(shù)支持。
  實(shí)驗(yàn)主要包括三部分:

2、(1)使用自制的拉拔模具進(jìn)行了不同路線下的高純鋁ECAD拉拔實(shí)驗(yàn),拉拔過程中改變了拉拔前的變形工藝、拉拔道次及拉拔模具,對(duì)拉拔后的試樣進(jìn)行了宏觀組織分析。(2)研究多向鍛造工藝對(duì)高純鋁變形組織的影響,通過改變鍛前均勻化退火條件,鍛造過程中的冷卻條件以及多向鍛造道次,得到不同條件下高純鋁多向鍛造組織,并對(duì)其進(jìn)行了宏觀組織、微觀組織和硬度分析。(3)軋制工藝對(duì)高純鋁多向鍛造后組織的影響,選取最優(yōu)工藝進(jìn)行多向鍛造,對(duì)鍛后試樣進(jìn)行不同工藝下的軋

3、制,通過改變軋前退火制度、軋制及軋后熱處理溫度,得到不同軋制及熱處理?xiàng)l件下高純鋁組織,也對(duì)其進(jìn)行了宏觀組織、微觀組織和硬度分析。(4)在前面工作的基礎(chǔ)上,進(jìn)行了大尺寸高純鋁板材組織細(xì)化工藝的探索研究。
  實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:(1) ECAD拉拔工藝細(xì)化高純鋁組織能力有限,且易出現(xiàn)失穩(wěn)。(2)多向鍛造過程中,道次間水冷試樣鍛后組織更加細(xì)小均勻,優(yōu)于道次間不水冷試樣。道次間水冷條件下,鍛前均勻化對(duì)高純鋁多向鍛造變形組織影響不大。(3)隨著

4、多向鍛造道次數(shù)的增加,試樣邊部難變形區(qū)內(nèi)組織得到有效細(xì)化,試樣心部細(xì)晶區(qū)面積擴(kuò)大,而心部細(xì)晶區(qū)晶粒尺寸先減小后增大。(4)在本實(shí)驗(yàn)采用的幾種軋制工藝條件下,都得到了相對(duì)均勻細(xì)小的高純鋁組織,其中以道次間水冷的工藝最優(yōu)。軋后退火表明,軋前未退火試樣的組織細(xì)于軋前退火試樣,且軋后以200℃的退火溫度為佳。(5)采用之前確定的多向鍛造加軋制組合工藝,生產(chǎn)出了晶粒細(xì)小、組織均勻的大尺寸高純鋁板材,平均晶粒尺寸約為210μm,達(dá)到了高純鋁靶材對(duì)晶

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無(wú)特殊說(shuō)明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請(qǐng)下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請(qǐng)聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁(yè)內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫(kù)僅提供信息存儲(chǔ)空間,僅對(duì)用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對(duì)用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對(duì)任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請(qǐng)與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對(duì)自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評(píng)論

0/150

提交評(píng)論