汞探針CV測試儀測量硅重?fù)揭r底外延層電阻率的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性.pdf

1、本論文針對公司使用汞探針CV495測試儀測量重?fù)揭r底硅外延層電阻率時,發(fā)現(xiàn)所得結(jié)果有不穩(wěn)定情況,從而導(dǎo)致大批產(chǎn)品報廢的問題進(jìn)行研究。首先,分析了影響測試結(jié)果穩(wěn)定性、重復(fù)性的各種因素;在此基礎(chǔ)上制訂了試驗(yàn)方案;通過大量試驗(yàn),發(fā)現(xiàn):
　　1.汞金屬的更換,會使測試電阻率的結(jié)果在大約1天的時間之內(nèi)表現(xiàn)出波動,之后逐步趨于穩(wěn)定。
　　2.校準(zhǔn)片在經(jīng)過重新表面處理之后,其電阻率值會在大約1天的時間之內(nèi)經(jīng)歷由低到高的一個變化過程,之后會

2、逐步趨于穩(wěn)定。
　　3.在經(jīng)過Cr03溶液表面處理的時間上,如果時間太短比如10分鐘以下,會在一定程度上造成校準(zhǔn)片及測試片產(chǎn)生漏電,從而影響到測試曲線的水平以及測試電阻率值的正確性。
　　針對以上3點(diǎn),經(jīng)過研究,在原有的汞探針CV監(jiān)控方法基礎(chǔ)上,建立起更加完善的使用汞探針CV測試儀測試重?fù)揭r底硅外延片的監(jiān)控方法:
　　1.確立1片或多片己知外延電阻率的校準(zhǔn)片,以作有效汞-硅接觸面積(后簡稱汞點(diǎn)面積)校準(zhǔn)時的標(biāo)準(zhǔn)。并且定

3、期測試校準(zhǔn)片的電阻率值,以監(jiān)控CV測試儀的穩(wěn)定性。當(dāng)校準(zhǔn)片電阻率值超出規(guī)定范圍時,在確認(rèn)其它干擾因素均沒有對其產(chǎn)生影響的情況下,應(yīng)修正有效汞點(diǎn)面積。
　　2.定期更換汞金屬(現(xiàn)在定為每月一換),須待更換后半天以上才能開始用校準(zhǔn)片校準(zhǔn)有效汞點(diǎn)面積。
　　3.定期對校準(zhǔn)片進(jìn)行重新表面處理(現(xiàn)在定為每月一次),校準(zhǔn)片電阻率測試值會在半天以上時間之后恢復(fù)至原標(biāo)稱值。在此電阻率恢復(fù)的半天時間之內(nèi)進(jìn)行的有效汞點(diǎn)面積的校準(zhǔn)值不可取。