帶通Σ-Δ調(diào)制微陀螺檢測(cè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì).pdf

1、隨著微電子工藝的發(fā)展，當(dāng)今的應(yīng)用傳感器逐步向微型化設(shè)計(jì)的方向轉(zhuǎn)變，深入人們的生活，微陀螺是較為常用的傳感器之一，它具有諸多優(yōu)點(diǎn)，如體積小、可靠性高、成本低、可批量生產(chǎn)等優(yōu)點(diǎn)，不僅在日常生活中起了很大的作用，更在軍用等方面發(fā)揮著巨大的作用。隨著科技的進(jìn)一步提高，高性能微陀螺的也成為了市場(chǎng)的高度需求品。但是微陀螺由于驅(qū)動(dòng)電路產(chǎn)生的驅(qū)動(dòng)信號(hào)影響其靈敏度和檢測(cè)精度，針對(duì)這種情況，本文研究了以Σ-Δ調(diào)制技術(shù)為基礎(chǔ)的一種帶通微陀螺檢測(cè)接口電路的設(shè)計(jì)

2、。
　　本論文分析了微陀螺接口電路的工作原理，在此基礎(chǔ)上，對(duì)Σ-Δ調(diào)制技術(shù)進(jìn)行理論分析，同時(shí)，建立了微陀螺檢測(cè)模態(tài)的等效電學(xué)模型，并對(duì)其進(jìn)行理想分析，再通過(guò)系統(tǒng)的各個(gè)模塊，分別設(shè)計(jì)出相應(yīng)的運(yùn)放以及各種電路。
　　總體的設(shè)計(jì)流程如下，首先，利用matlab軟件下的simulink工具包建立微機(jī)械陀螺檢測(cè)系統(tǒng)模型，通過(guò)分析計(jì)算，對(duì)其可行性進(jìn)行驗(yàn)證；其次，利用Hspice對(duì)系統(tǒng)的相應(yīng)電路模塊進(jìn)行分析及設(shè)計(jì)，實(shí)驗(yàn)室采取的是0.5μm