多相介質(zhì)對液浮微陀螺電容檢測的影響研究.pdf

1、隨著微電子技術的日趨成熟,微機械加工、封裝技術的不斷發(fā)展,MEMS傳感器在體積、質(zhì)量、功耗、精度等各方面的性能都有了質(zhì)的改善,集成度的提高使得各種微型慣性表頭在軍用及民用方面應用十分廣泛,尤其是硅加速度計及硅微陀螺是國內(nèi)外研究的熱點。
　　本文針對液浮轉(zhuǎn)子式微陀螺提出了合適的差分結構微弱電容信號檢測方案,并對此種結構中存在的兩相流或多相流系統(tǒng)進行研究,分析兩相流系統(tǒng)對電容檢測的影響。論文主要包括兩大方面,一是差分結構微弱電容信號的

2、檢測電路設計,二是對液浮轉(zhuǎn)子式微陀螺中的兩相流系統(tǒng)問題進行分析。
　　對于微弱電容檢測電路部分,本文首先對微弱信號檢測的幾種原理進行分析,基于相敏解調(diào)的原理提出了合適的差分結構電容檢測方案,完成對檢測電路中電荷放大器、交流鎖定放大、相敏解調(diào)電路及濾波電路的Hsipce仿真,驗證了方案的可行性,仿真可知電路在100kHz處的等效輸入噪聲為9.8641nV/Hz1/2;然后完成檢測電路的PCB板設計,通過測試驗證了功能的正確性,且等效