液浮轉(zhuǎn)子式微陀螺電極結(jié)構(gòu)設(shè)計與實現(xiàn).pdf

1、懸浮轉(zhuǎn)子式微陀螺作為新一代的無機械支撐的高精度、高穩(wěn)定性的微慣性器件在航空航天、武器制導(dǎo)、民用等各個領(lǐng)域發(fā)揮著不可取代的作用。陀螺位移檢測所能檢測到的差動電容大小直接影響陀螺的精度。本文從各種電極結(jié)構(gòu)入手運用有限元仿真與實驗結(jié)合的方法對電極結(jié)構(gòu)對差動電容大小的影響進行了具體的研究。
　　本文首先對各類懸浮轉(zhuǎn)子式微陀螺做簡單概述,并對本課題所涉及的液浮轉(zhuǎn)子式微陀螺的結(jié)構(gòu)、工作原理、位移檢測方法及原理做了詳細介紹。在對整個系統(tǒng)擁有一定

2、了解之后,對軸向電極在轉(zhuǎn)子沿Z軸平動、繞X、Y軸轉(zhuǎn)動后與轉(zhuǎn)子間產(chǎn)生的差動電容大小進行了理論計算,同時又對徑向電極在轉(zhuǎn)子沿X、Y軸平動后電極與轉(zhuǎn)子間產(chǎn)生的差動電容大小進行了理論分析。完成理論分析之后,利用有限元仿真軟件Comsol Multiphysics對三種軸向電極結(jié)構(gòu):四對、六對、八對軸向電極在轉(zhuǎn)子沿Z軸平動不同距離、繞X、Y軸轉(zhuǎn)動不同角度后與轉(zhuǎn)子間產(chǎn)生的差動電容值大小進行仿真,并將轉(zhuǎn)子位移變化情況與相對應(yīng)的差動電容數(shù)值間的關(guān)系繪圖