基于巨應(yīng)力阻抗效應(yīng)的加速度計(jì)若干技術(shù)研究.pdf

1、巨應(yīng)力阻抗（簡(jiǎn)稱GSI）效應(yīng)是繼巨磁阻抗（GMI）效應(yīng)之后，在軟磁材料領(lǐng)域發(fā)現(xiàn)的又一個(gè)非常具有研究?jī)r(jià)值和實(shí)用價(jià)值的特殊物理現(xiàn)象。GSI效應(yīng)是指被高頻信號(hào)激勵(lì)的某種非晶態(tài)合金，當(dāng)其受到外應(yīng)力作用時(shí)，它的阻抗值會(huì)發(fā)生明顯變化的現(xiàn)象。利用軟磁合金的GSI效應(yīng)開發(fā)新型傳感器，具有靈敏度高、尺寸小、響應(yīng)快、功耗低等優(yōu)點(diǎn)。加速度計(jì)是慣性測(cè)試系統(tǒng)的重要組成部分，利用GSI效應(yīng)研制新型加速度計(jì)具有重要的理論價(jià)值和工程實(shí)際意義。 本文研究了基于G

2、SI效應(yīng)的加速度計(jì)的若干技術(shù)：巨應(yīng)力阻抗效應(yīng)的理論分析、GSI加速度計(jì)的工作原理和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、GSI加速度計(jì)調(diào)理電路設(shè)計(jì)等三方面內(nèi)容。本文系統(tǒng)地闡述了GSI效應(yīng)的產(chǎn)生機(jī)理，介紹了非晶態(tài)合金材料的制備和處理方法，以及影響GSI效應(yīng)的因素，選擇了Fe73.5Cu1Nb3Si13.5B9非晶粉/硅橡膠復(fù)合薄膜作為傳感器的敏感材料。在此基礎(chǔ)上，深入地研究了基于GSI效應(yīng)的加速度計(jì)的工作原理，設(shè)計(jì)適合該類型加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)，用ANSYS對(duì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行模態(tài)