杠桿式微小力值測(cè)量與溯源方法研究.pdf

1、隨著微系統(tǒng)、新材料,及微納加工等高新技術(shù)的飛速發(fā)展,微納力值計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)在這些新興行業(yè)中起到了關(guān)鍵性的作用,因此微納量級(jí)的微小力的應(yīng)用與測(cè)量在科學(xué)發(fā)展中的地位越來(lái)越重。
　　研究了基于杠桿原理的微小力測(cè)量與溯源技術(shù),做了系統(tǒng)結(jié)構(gòu)剛度的理論分析,并搭建實(shí)驗(yàn)測(cè)試平臺(tái),進(jìn)行一系列的驗(yàn)證測(cè)試實(shí)驗(yàn),驗(yàn)證了其應(yīng)用與設(shè)計(jì)的合理性,并分析了系統(tǒng)誤差的影響因素。主要研究工作如下:
　　1.分析了微小力值計(jì)量對(duì)科學(xué)發(fā)展的重要意義,總結(jié)了微小力值的測(cè)

2、量與溯源在國(guó)內(nèi)外的發(fā)展現(xiàn)狀,明確了課題研究的重點(diǎn)與難點(diǎn),確立研究方向。
　　2.建立了靜電力發(fā)生的數(shù)學(xué)模型,對(duì)圓柱形電容傳感器的電容梯度及其影響因素進(jìn)行分析。
　　3.通過(guò)Ansys有限元對(duì)力學(xué)傳遞機(jī)構(gòu)進(jìn)行了應(yīng)力應(yīng)變分析,分析了微力轉(zhuǎn)換傳遞機(jī)構(gòu)的模式及各項(xiàng)參數(shù),設(shè)計(jì)并比較多種杠桿式機(jī)構(gòu),突破了微小力轉(zhuǎn)換與傳遞的瓶頸,確定了杠桿式微力轉(zhuǎn)換傳遞機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)方案,并分析了其剛度的影響因素。
　　4.分析了微小力測(cè)量與溯源裝置的