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文檔簡介
1、CN薄膜具有許多優(yōu)異的物理、化學(xué)特性,如超高硬度、高耐磨性、低摩擦系數(shù)、寬帶隙以及對紅外波段有高透過率等,最近又發(fā)現(xiàn)CN薄膜具有良好的生物相容性,在機械、光學(xué)、電子、航天和生物等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景.該文利用射頻磁控濺射沉積了CN薄膜,并研究了CN薄膜的光學(xué)性能和生物相容性,主要進行了以下幾個方面的工作:1、探索CN薄膜的沉積工藝.利用單因素試驗法探索了CN薄膜的沉積工藝,獲得了沉積CN薄膜的最佳工藝參數(shù).2、研究CN薄膜的內(nèi)部結(jié)構(gòu).
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