版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、MEOMS掃描微鏡作為微光學(xué)系統(tǒng)的核心器件,被廣泛地應(yīng)用于光通信、圖像顯示、自適應(yīng)光學(xué)和光譜分析技術(shù)等領(lǐng)域。與傳統(tǒng)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的反射鏡相比,基于MOEMS技術(shù)的掃描微鏡具有體積小、功耗低、成本低、可批量制造等優(yōu)點(diǎn),成為MOEMS技術(shù)的研究熱點(diǎn)之一。微型光譜儀、醫(yī)學(xué)影像和條形碼閱讀等光學(xué)系統(tǒng)對掃描微鏡提出了反射鏡面面積大、掃描角度大、功耗低、穩(wěn)定性好等要求。為此,本論文提出采用MOEMS技術(shù)制作大面積、大角度掃描微鏡,實(shí)現(xiàn)角度傳感器與掃描微鏡
2、的單芯片集成,采用閉環(huán)控制方法實(shí)現(xiàn)對掃描微鏡的精確控制,具有重要的研究意義與實(shí)用價(jià)值。
論文研究了集成角度傳感器的MOEMS掃描微鏡的理論模型,進(jìn)行了掃描微鏡結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和仿真優(yōu)化,完成了芯片加工和封裝設(shè)計(jì),制作出了MOEMS掃描微鏡原理樣機(jī),研究了掃描微鏡的驅(qū)動(dòng)控制方法,搭建了實(shí)驗(yàn)電路并進(jìn)行了電路調(diào)試和掃描微鏡性能測試。本文主要研究內(nèi)容如下:
1.論文調(diào)研了國內(nèi)外MOEMS掃描微鏡的研究現(xiàn)狀,對典型掃描微鏡的工作原理、
3、優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)進(jìn)行了分析,針對微型光譜儀的應(yīng)用需求以及現(xiàn)有技術(shù)的不足,確定了集成角度傳感器的MOEMS掃描微鏡的主要研究內(nèi)容;
2.提出集成角度傳感器的電磁驅(qū)動(dòng)MOEMS掃描微鏡新型結(jié)構(gòu),分析了掃描微鏡和角度傳感器的工作原理;建立了掃描微鏡的系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)模型、電磁驅(qū)動(dòng)器和角度傳感器的理論模型;根據(jù)微型光譜儀的應(yīng)用需求,設(shè)計(jì)了掃描微鏡的結(jié)構(gòu)參數(shù),并采用有限元軟件對掃描微鏡結(jié)構(gòu)進(jìn)行了仿真、分析和結(jié)構(gòu)優(yōu)化;
3.設(shè)計(jì)了掃描微鏡加工
4、版圖,分析了掃描微鏡關(guān)鍵加工工藝,設(shè)計(jì)了加工流程,完成了掃描微鏡芯片制作。提出了磁路設(shè)計(jì)方案,采用有限元磁場分析,完成了掃描微鏡的封裝設(shè)計(jì);
4.研究了掃描微鏡的驅(qū)動(dòng)控制電路,完成了信號發(fā)生、角度檢測、反饋控制和可變增益放大等模塊的設(shè)計(jì),搭建了驅(qū)動(dòng)控制實(shí)驗(yàn)電路并進(jìn)行了調(diào)試;
5.研究了掃描微鏡性能測試方案,搭建了性能測試平臺,對掃描微鏡的諧振頻率、掃描角度以及角度傳感器的靈敏度和分辨率等重要性能參數(shù)進(jìn)行測試。測試結(jié)果
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽,若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- MOEMS電磁式集成掃描光柵微鏡的設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)研究.pdf
- 微光學(xué)集成的高精度MOEMS加速度傳感器研究.pdf
- 實(shí)現(xiàn)角度和波長掃描SPR傳感器研究.pdf
- 微納光纖環(huán)MOEMS加速度傳感器理論與應(yīng)用研究.pdf
- 微熱板真空傳感器及其單芯片集成技術(shù)的研究.pdf
- 新型角度扭矩傳感器研究.pdf
- 基于偏晶向(111)硅基的MOEMS掃描光柵微鏡關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
- 基于MOEMS掃描微鏡的微型中紅外光譜儀關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
- 面向近紅外微型光譜儀的MOEMS掃描光柵微鏡關(guān)鍵技術(shù)研究.pdf
- 激光微熔覆集成制造氣敏傳感器的研究.pdf
- 基于微掃描的像質(zhì)檢測用哈特曼傳感器研究.pdf
- 基于微變電容的角度振動(dòng)傳感器的研究與實(shí)現(xiàn).pdf
- PMSM DTC無傳感器運(yùn)行及傳感器集成研究.pdf
- 基于MZI光波導(dǎo)MOEMS壓力傳感器的設(shè)計(jì)及特性研究.pdf
- 一種轉(zhuǎn)鏡式激光掃描傳感器關(guān)鍵技術(shù)的研究.pdf
- 纖維集成SPR傳感器研究.pdf
- CMOS集成濕度傳感器研究.pdf
- 單片集成薄膜體聲波生化微傳感器的數(shù)字微流控芯片研究.pdf
- 集成薄膜型氣體傳感器的研究.pdf
- 集成微流道的體波諧振液相傳感器研究.pdf
評論
0/150
提交評論