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文檔簡(jiǎn)介
1、本文研制了一種新型的壓電微壓傳感器,它主要由敏感元件、內(nèi)置前置放大器、塑料支架、墊圈、蓋板和外殼組成,敏感元件為單晶片結(jié)構(gòu)。前置放大器為高輸入低輸出的電荷放大器,它將壓電晶片的高輸出阻抗轉(zhuǎn)換成低輸出阻抗,同時(shí)將晶片探測(cè)到的信號(hào)放大。 對(duì)壓電微壓傳感器的敏感元件進(jìn)行了有限元分析。按照敏感元件的實(shí)際尺寸,進(jìn)行建模,計(jì)算仿真元件的振動(dòng)模態(tài),求解元件的諧振頻率。同時(shí),使用阻抗分析儀對(duì)敏感元件的諧振頻率進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)測(cè)試,并與有限元計(jì)算結(jié)果進(jìn)
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