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1、安徽大學(xué)碩士學(xué)位論文GMR傳感器的微加工制作姓名:岳廷申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專(zhuān)業(yè):材料學(xué)指導(dǎo)教師:王磊201104AbstractAbstractThedevelopmentofmodemscienceandtechnologyandraisingthelevelofhumanlifeisinseparablefromtheproductionofvarioussensortechnologyresearchandapplicationAl
2、mosteveryphysicalphenomenonaddsanewmembershiptothevarietyofsensorsMagnetoresistancesensorisanimportantoneofthemThephysicalprincipleofthiskindsensoristhematerialundertheeffectofthemagneticfieldwillchangeitselectricalresis
3、tanceAccordingtotheirdifferentmagneticresistancewecandefinethemasHall,AMR,GMR,TMRandtheCMReffectHallEffectandAMReffecthadbeendevelopedandutilizedforlongtime,theygetwidelyusedDuetotheirscopeprocesstechniqueandlimitsapplyc
4、onditiontheapplicationofTMReffectandtheCMReffectisstillinexploratorystageOnthefirstchapterwegiveabrieflyreviewtovarietyMagnetoresistance,andthenfocusesonthephysicalmechanismofGMReffects,baSedon”Spindependentscatteringphe
5、nomenologicalmodel”andthe”TwocurrentmodelDifferentkindsofGMRstructurealebeenintroduced,includingMulti—layermetalandGranularfilmThenecessarymeanstousespinvalveGMReffectmaterialisMicromachingTechniquesOnthesecondchapterwew
6、illshowmicro—processingtechnologyinvolvedintheprocessOnthethirdchapterwefocusonthemostimportantmieromachiningpart:graphicslithographyAtthesametime,weexploredtheparametersconditionsforlithographyetchingIllustratetheeffect
7、ofparametersonlithographyprocessingChapterIVintroducesthemechanismofplaSmaetchingindicatingthatthemainIBEprocessCombinationofion$oBrceparametersusedinexperimentsandspinvalvemetalfilmstructure,summeduptheappropriateetchin
8、gparametersChapterVshowsthetestresultsofGMRsensorschipSomeapplyexamplesoftheGMRsensorchipwhichisongoingon0111“experimentalgroupalegivenandfurtherprospectsofapplicationandresearchisgiventooKeywords:Magnetoresistance,GMRef
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