多晶硅太陽(yáng)能電池制絨及與后續(xù)工藝匹配性研究.pdf

1、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)企業(yè)需要解決兩個(gè)問(wèn)題:提高電池轉(zhuǎn)換效率和降低生產(chǎn)成本。提高電池轉(zhuǎn)換效率必須通過(guò)改進(jìn)生產(chǎn)工藝來(lái)實(shí)現(xiàn)，制絨作為太陽(yáng)能電池生產(chǎn)的第一道工藝，一直以來(lái)都是科研工作者研究的重點(diǎn)。
　　多晶硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)企業(yè)較多采用HNO3/HF/H2O酸腐蝕液制備絨面，以達(dá)到去除硅片表面污垢、降低硅片反射率的目的。本論文依托太陽(yáng)能電池常規(guī)產(chǎn)線，研究了多晶硅制絨反應(yīng)時(shí)間、溶液溫度、腐蝕液配比等工藝參數(shù)對(duì)制絨效果的影響，并初步探尋了制絨與其他后

2、續(xù)工藝的匹配性問(wèn)題。
　　第一，通過(guò)改變制絨反應(yīng)時(shí)間，達(dá)到了精確控制制絨后硅片減重的預(yù)期，為生產(chǎn)線穩(wěn)定運(yùn)行提供了良好的實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)。
　　第二，分別設(shè)計(jì)溶液溫度以及腐蝕液配比的對(duì)照實(shí)驗(yàn)，通過(guò)大量實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)分析得到:當(dāng)溶液溫度為6℃、VHNO3∶ VHF=6∶1時(shí)，制絨后硅片網(wǎng)紋較少;鍍減反射膜后，薄膜顏色均勻好、色差小、成膜質(zhì)量高、減反效果好。
　　第三，在減重對(duì)照實(shí)驗(yàn)中，在設(shè)定的減重范圍內(nèi)，隨著制絨減重的增加，開(kāi)路電壓Uo