非諧振式振動(dòng)輔助工作臺(tái)研制及微細(xì)銑削工藝實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、隨著加工技術(shù)的進(jìn)步與產(chǎn)品小型化的發(fā)展要求,微型零件的應(yīng)用領(lǐng)域越來(lái)越廣泛,并且對(duì)微型零件的材料性能和微型結(jié)構(gòu)的加工質(zhì)量也提出了很高的要求,這就對(duì)微型零件制造工藝提出了更高的要求。在微型零件的加工技術(shù)中,特別是結(jié)構(gòu)復(fù)雜且尺寸小的微型零件加工中,微細(xì)銑削加工技術(shù)占有極其重要的地位。但是由于微細(xì)銑削系統(tǒng)本身屬于剛度較弱的系統(tǒng),很難實(shí)現(xiàn)精密級(jí)別的微細(xì)銑削加工。在常規(guī)尺度銑削過(guò)程或者是在非回轉(zhuǎn)刀具的加工過(guò)程中,為了改善加工狀態(tài),提出在切削過(guò)程中施加

2、振動(dòng)輔助的方法,可以改善加工狀態(tài),同樣為了改善微細(xì)銑削的加工狀態(tài),在微細(xì)銑削過(guò)程施加振動(dòng)輔助的方法,本文就振動(dòng)輔助對(duì)微細(xì)銑削加工性能的影響進(jìn)行研究。
　　一般在切削過(guò)程中施加振動(dòng)輔助分成刀具振動(dòng)和工件振動(dòng)兩大類,本文研究的微細(xì)銑削的銑刀是采用空氣渦輪高速主軸夾持進(jìn)行微細(xì)銑削加工的,故不能在刀具一側(cè)施加振動(dòng)輔助的效果,所以采用振動(dòng)輔助工作臺(tái)的形式,將振動(dòng)信號(hào)施加在工件一側(cè)。本文設(shè)計(jì)一種非諧振振動(dòng)輔助系統(tǒng),該系統(tǒng)其主體基于高精度的微小

3、位移柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)的振動(dòng)輔助工作臺(tái),利用壓電陶瓷的精確的動(dòng)態(tài)響應(yīng)性能,實(shí)現(xiàn)工件上的精確振動(dòng)動(dòng)作,并且配有壓電陶瓷控制器、壓電陶瓷冷卻夾持裝置、壓電陶瓷的預(yù)緊裝置和激光三角反射位移傳感器等,以便對(duì)振動(dòng)的位移進(jìn)行精確的控制和檢測(cè)。
　　本文將非諧振振動(dòng)輔助系統(tǒng)與精密微細(xì)銑削系統(tǒng)兩者集成,實(shí)現(xiàn)非諧振式振動(dòng)輔助系統(tǒng)和精密微細(xì)銑削系統(tǒng)的兼容,為研究振動(dòng)輔助技術(shù)對(duì)微細(xì)銑削加工工藝的影響打下良好的基礎(chǔ)。
　　本文在對(duì)微尺度槽結(jié)構(gòu)進(jìn)行微細(xì)銑削