鍵合質(zhì)量離線圖像檢測系統(tǒng)研究.pdf

1、隨著微電子電路集成幅度的不斷提高，對元器件的微型化及其封裝技術(shù)提出了更高的要求。在封裝器件內(nèi)部，集成芯片相互間的連接以及芯片與外圍電路的連接至關(guān)重要，直接影響著整個封裝器件的電氣性能。在當前的半導體封裝技術(shù)中，引線鍵合技術(shù)是主流封裝技術(shù)。鍵合質(zhì)量的好壞與半導體器件的可靠性和穩(wěn)定性有著直接關(guān)系。
　　 為了確保封裝質(zhì)量，在鍵合之后必須進行質(zhì)量檢驗。常規(guī)的質(zhì)量檢查包括外觀檢測和拉推力檢測。由于拉推力檢測是破壞性檢測，只能對部分焊點進

2、行抽檢而無法進行全檢。因此外觀檢測是確保半導體封裝質(zhì)量的最簡單、最直接的檢驗方式。傳統(tǒng)的外觀檢測方法是檢驗人員借助顯微鏡等設(shè)備觀察每個焊點和每根引線絲的外觀，根據(jù)其是否符合相關(guān)的工藝要求對鍵合產(chǎn)品的質(zhì)量進行初步判斷，并在這個過程中剔除不良品，防止進入下一道工序。
　　 本文運用圖像處理技術(shù)實現(xiàn)二極管管芯的自動識別、定位以及引線寬度的測量。本文主要研究內(nèi)容有：
　　 首先，論文介紹了幾種評估引線鍵合產(chǎn)品質(zhì)量的方法，如目測法

3、、破壞性焊接拉力檢測、球焊剪切檢測法、電氣檢測、射線檢測、超聲檢測、光學檢測等，并對這些檢測方法進行了比較。
　　 其次，本文對圖像處理中的圖像分割、輪廓提取與邊緣檢測等算法進行了研究比較，總結(jié)出各種算法的優(yōu)缺點，得到最適合本系統(tǒng)的具體算法。先通過固定閾值法對電視顯微鏡拍攝的鍵合產(chǎn)品圖像進行二值化處理，然后對二值圖像進行輪廓提取，接著用投影法完成二極管管芯的定位。
　　 最后，對圖像進行邊緣檢測，運用圖像細化算法得到二極