提高并行共焦探測精度的方法研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、　　隨著MEMS技術(shù)的不斷發(fā)展，越來越多的微器件需要進(jìn)行精密三維測量。如何快速準(zhǔn)確檢測微觀輪廓形貌，已成為現(xiàn)代精密測試技術(shù)與儀器研究的重要課題，所研究的并行共焦探測方法是使微小輪廓的快速高精度檢測成為可能。　　本項(xiàng)目來源于國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目“納米三座標(biāo)測量機(jī)關(guān)鍵技術(shù)的研究”和教育部科學(xué)技術(shù)研究重點(diǎn)項(xiàng)目“基于微光學(xué)的多功能三維探測頭的研制”。本論文首先概述了并行共焦探測的工作原理和系統(tǒng)的總體結(jié)構(gòu)，然后詳細(xì)闡述了系統(tǒng)的光路設(shè)計及裝調(diào)結(jié)構(gòu)

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