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1、黑硅作為一種在可見光以及近紅外區(qū)域具有很高光吸收率的新型硅材料,使其在太陽能電池和光電探測(cè)器領(lǐng)域有著巨大的應(yīng)用前景,并得到了業(yè)內(nèi)的廣泛關(guān)注,近些年黑硅的制備以及性能研究也成了熱點(diǎn)問題。
本文主要的研究?jī)?nèi)容是利用兩種濕法腐蝕相結(jié)合的方法制備出表面微結(jié)構(gòu)化的黑硅材料,這種制備方法簡(jiǎn)單易行,具有良好的可操作性。堿刻蝕中我們首先研究了腐蝕時(shí)間、腐蝕溫度、腐蝕液濃度對(duì)黑硅表面微結(jié)構(gòu)的影響,最終確定KOH溶液濃度1%,腐蝕時(shí)間15分鐘,腐
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