高阻半導(dǎo)體進(jìn)電及振動(dòng)方式對(duì)電火花加工影響研究.pdf

1、隨著社會(huì)的發(fā)展，半導(dǎo)體材料的應(yīng)用范圍在日趨擴(kuò)大。由于半導(dǎo)體具有脆性高、斷裂韌度低等特性，傳統(tǒng)的機(jī)械加工方法很難加工半導(dǎo)體材料，電火花加工是一種非接觸式加工法，對(duì)脆硬半導(dǎo)體的加工具有一定優(yōu)勢(shì)。本文在前人研究?jī)?nèi)容的基礎(chǔ)上，對(duì)高阻半導(dǎo)體硅的進(jìn)電特性、放電加工不同狀態(tài)下的波形、不同進(jìn)電方式下的銑削放電加工、工件振動(dòng)式放電加工等方面進(jìn)行了研究，主要內(nèi)容如下：
　　 （1)在金屬功函數(shù)對(duì)金屬——半導(dǎo)體硅的接觸電阻影響的理論基礎(chǔ)上，研究了銅、

2、鈦、鐵、鋁四種金屬與半導(dǎo)體硅的接觸進(jìn)電特性，以選擇一種合適的金屬材料作為半導(dǎo)體硅放電加工的進(jìn)電材料。
　　 （2)從半導(dǎo)體硅放電加工的放電波形著手，研究其空載、正?；鸹ǚ烹?、短路狀態(tài)下電路中的電流波形狀態(tài)，為有效控制半導(dǎo)體硅放電加工過(guò)程的穩(wěn)定性、提高放電加工效率尋找理論依據(jù)。
　　 （3)分別采用固定、旋轉(zhuǎn)、隨動(dòng)進(jìn)電方式對(duì)高阻半導(dǎo)體硅進(jìn)行放電銑削加工實(shí)驗(yàn)研究，結(jié)果表明：固定進(jìn)電方式下，由于進(jìn)電點(diǎn)生成不導(dǎo)電的鈍化膜，導(dǎo)致接

3、觸電阻不斷增加，回路中的總電阻不斷增大，放電峰值電流逐步較少，極間狀態(tài)朝著絕緣化發(fā)展，最終導(dǎo)致無(wú)法加工；旋轉(zhuǎn)進(jìn)電方式下，由于進(jìn)電電極與加工區(qū)域距離的變化導(dǎo)致放電回路中的體電阻不斷變化，放電峰值電流不斷變化；隨動(dòng)進(jìn)電方式下，放電回路中由于進(jìn)電電極不斷刮除產(chǎn)生的鈍化膜且極間距離維持不變，因此接觸電阻和體電阻能保持始終穩(wěn)定，放電加工穩(wěn)定性較好。同時(shí)，研究了隨動(dòng)進(jìn)電方式下，輸入電壓、脈寬、占空比等參數(shù)對(duì)高阻半導(dǎo)體硅電火花銑削加工放電回路中的電流