超精密機(jī)床液體靜壓導(dǎo)軌的設(shè)計(jì)與可靠性分析.pdf

1、超精密加工技術(shù)在現(xiàn)代工業(yè)中占有重要地位，決定超精密加工技術(shù)的關(guān)鍵是超精密機(jī)床，而超精密機(jī)床的核心部件是導(dǎo)軌。液體靜壓導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)具有高剛度、高精度、低磨損、長壽命、減震吸振效果好等優(yōu)點(diǎn)，因此運(yùn)用廣泛。本文以廣東省微納加工技術(shù)與裝備重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室自主研發(fā)的NMM500五軸機(jī)床液體靜壓導(dǎo)軌為研究對(duì)象，主要從以下幾方面的內(nèi)容進(jìn)行了研究:
　　(1)對(duì)各種類型的液體靜壓導(dǎo)軌進(jìn)行了詳細(xì)的分析和綜合的比較。對(duì)NMM500五軸機(jī)床液體靜壓導(dǎo)軌進(jìn)行了三維

2、建模設(shè)計(jì)，并對(duì)導(dǎo)軌的各參數(shù)進(jìn)行了計(jì)算。介紹了液體靜壓導(dǎo)軌的供油系統(tǒng)及毛細(xì)管節(jié)流器的設(shè)計(jì)。
　　(2)對(duì)液體靜壓導(dǎo)軌進(jìn)行了螺栓預(yù)緊力仿真分析，得出了導(dǎo)軌變形曲線。分析了實(shí)際導(dǎo)軌面的直線度，建立了導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)的簡化模型。并根據(jù)油膜承載的相關(guān)理論建立數(shù)學(xué)模型，計(jì)算出了液體靜壓導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)的直線度誤差。
　　(3)介紹了液體靜壓導(dǎo)軌的熱處理、表面刮研處理、安裝與修正。對(duì)液體靜壓導(dǎo)軌表面和液體靜壓導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)的直線度誤差進(jìn)行了檢測。重點(diǎn)闡述了實(shí)驗(yàn)