視覺檢測系統(tǒng)中快速自動調(diào)焦技術(shù)的研究.pdf

1、本文設(shè)計了一種快速自動調(diào)焦系統(tǒng)，可以推廣應(yīng)用于各種視覺檢測系統(tǒng)中。主要工作如下：1、本系統(tǒng)采用的自動調(diào)焦方法是，通過CCD采集被測工件表面的圖象并記錄Z坐標(biāo)，將圖像數(shù)據(jù)送入計算機(jī)，通過數(shù)字圖像處理技術(shù)進(jìn)行處理和判斷，并控制調(diào)焦機(jī)構(gòu)移動，到達(dá)焦面位置。2、主要討論了利用數(shù)字圖像處理技術(shù)進(jìn)行自動調(diào)焦的方法，對常見的幾類自動調(diào)焦評價函數(shù)進(jìn)行了詳細(xì)的介紹，并選擇了灰度梯度函數(shù)中的九種函數(shù)，通過大量的實驗對這些評價函數(shù)的特性和適用范圍進(jìn)行

2、了全面的對比分析，根據(jù)實驗結(jié)論，確定了用于本系統(tǒng)的灰度變化率之和函數(shù)和Tenengrad函數(shù)相結(jié)合的快速、自動、精確的自動調(diào)焦評價函數(shù)模型。3、分析影響自動調(diào)焦速度的因素，并對比分析了幾種尋優(yōu)控制方案，設(shè)計了圖像并行處理和逐次逼近的登山式與掃描反饋式相結(jié)合的綜合控制的自動調(diào)焦方案。4、最后介紹了影響自動調(diào)焦系統(tǒng)精度的指標(biāo)，并通過實驗測定自動調(diào)焦系統(tǒng)的自動調(diào)焦精度。圖像式自動調(diào)焦系統(tǒng)將會對原有萬工顯微鏡的自動化、柔性化、高精度以