基于計算流體力學的準分子激光器流場研究.pdf

1、在大規(guī)模集成電路工藝的光刻技術(shù)領(lǐng)域,為了獲得更穩(wěn)定的、更小尺寸的微加工,對激光輸出的穩(wěn)定性有很高的要求。激光器需要在高重復頻率下流場參數(shù)保持穩(wěn)定,這對激光器氣體循環(huán)系統(tǒng)的研究和設(shè)計提出了新的要求。本文用計算流體力學的理論知識和軟件對準分子氣體激光器的內(nèi)流場進行了研究。
　　首先,介紹了準分子激光器產(chǎn)生激光的原理及激光腔內(nèi)部的結(jié)構(gòu),分析影響準分子激光器流場分布的主要因素,結(jié)合流體力學和風機的知識,對風機的選型做詳細的說明,確定了激光

2、器氣體循環(huán)的關(guān)鍵裝置與設(shè)計原理。
　　其次,建立激光器氣體流動腔的數(shù)學模型,主要考慮橫流風機的結(jié)構(gòu)設(shè)計。主要在Gambit軟件中建模并進行網(wǎng)格劃分,在了解數(shù)值模擬的基本概念和對應(yīng)的研究方法的基礎(chǔ)上,結(jié)合Fluent軟件的功能,找出精確高效的數(shù)值計算方法。
　　接著,根據(jù)激光器工作時的條件,選擇合適的邊界條件,利用Fluent軟件求解腔內(nèi)流場分布,獲得大量速度場、壓力場的數(shù)據(jù)資料,在后處理中使用Tecplot軟件提取出放電區(qū)域