2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁(yè)
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1、殘留氣體分析器（residualgasanalysis,RGA）具有很高的化學(xué)選擇性和靈敏度,因此長(zhǎng)期應(yīng)用于在半導(dǎo)體制造中以及化學(xué)工藝過(guò)程的監(jiān)控和異常情況檢測(cè)。隨著制程技術(shù)層次的不斷提高，復(fù)雜度的不斷增加，單片成本提高，那么要維持低成本，高良率及高機(jī)臺(tái)使用效益，增加本身的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，殘余氣體分析儀，則是一種行之有效的工具。未來(lái)趨勢(shì)已逐漸走向12英寸晶圓，當(dāng)晶圓成本不斷提高，這樣因意外或異常現(xiàn)象造成的生產(chǎn)損失也相對(duì)地提高。因此RGA作為線上

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