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文檔簡介
1、微陣列技術(shù)提供了一種快速檢測蛋白質(zhì)、核酸、細(xì)胞等生物微粒的方法。在生物、制藥、檢疫等許多領(lǐng)域中,生物微粒的捕獲是一項(xiàng)基礎(chǔ)性的工作。通過捕獲分離出樣品中不需要的生物微粒,實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品的提純;通過捕獲特定的蛋白質(zhì)分子或者細(xì)胞,可以用于疾病的診斷;生物傳感器件的表面修飾可以靠捕獲生物微粒到器件的特定位置來實(shí)現(xiàn)。
本文設(shè)計(jì)并制造了一種能夠捕獲溶液中的生物微粒的微陣列芯片。芯片采用n型硅片為材料,尺寸為22 mm×22 mm,捕獲陣列是6
2、0×60的微圓柱陣列。圓柱直徑為100μm,中心間距為150μm,高度為100μm。圓柱陣列通過光刻、濺射、剝離、ICP刻蝕等微電子工藝制備。在ICP刻蝕中,提出了增加基片溫度和刻蝕/鈍化時(shí)間比的方法抑制了刻蝕底部的“草地”;提出了在鈍化和刻蝕階段通入SF6和C4F8混合氣體的方法平滑了刻蝕側(cè)壁的粗糙程度,并通過多次試驗(yàn)優(yōu)化了基片溫度、刻蝕/鈍化時(shí)間、混合氣體流量等參數(shù),取得了良好的刻蝕結(jié)果。
芯片的表面修飾分為納米Au顆粒的
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