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文檔簡(jiǎn)介
1、砷化鎵(GaAs)納米線陣列負(fù)電子親和勢(shì)光陰極因其較高的量子效率,較低的暗電流,良好的長(zhǎng)波響應(yīng),禁帶寬度較窄等特點(diǎn),成為最有前景的光電發(fā)射材料之一,廣泛應(yīng)用在微光夜視,高能光電倍增管等領(lǐng)域,將有機(jī)會(huì)成為下一代電子加速器電子源。近些年國(guó)內(nèi)外對(duì)GaAs光陰極薄膜結(jié)構(gòu)的優(yōu)化和改進(jìn)已經(jīng)進(jìn)行了大量的研究,同時(shí)在納米線陣列結(jié)構(gòu)的特性研究方面也取得了重大的進(jìn)展,但是對(duì)GaAs納米線陣列光陰極的研究工作還鮮有報(bào)道?;诖?,本文對(duì)GaAs納米線陣列光陰極
2、制備工藝及優(yōu)化,性能表征測(cè)試,理論模型仿真等方向展開(kāi)研究。
本文采用感應(yīng)耦合等離子(ICP)刻蝕法制備GaAs納米線陣列、變組分AlGaAs納米線陣列,分析ICP刻蝕法制備GaAs納米線陣列頂部出現(xiàn)剝離現(xiàn)象的原因,并對(duì)制備工藝進(jìn)行了優(yōu)化;利用掃描電子顯微鏡,微區(qū)光致發(fā)光譜,漫反射譜等研究了GaAs納米線陣列光陰極的光學(xué)特性,發(fā)現(xiàn)其反射率遠(yuǎn)低于薄膜材料結(jié)構(gòu),光的“捕獲效應(yīng)”明顯。GaAs納米線陣列光陰極微區(qū)光致發(fā)光譜的波峰像近紅
3、外波段偏移,表明其結(jié)構(gòu)的禁帶寬度變窄,對(duì)長(zhǎng)波吸收更好。
在實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)上,針對(duì)GaAs納米線陣列光陰極的性能表征測(cè)試,根據(jù)Spicer提出的“三步走”光電發(fā)射模型,建立GaAs納米線陣列光陰極的光電發(fā)射模型,通過(guò)三維仿真軟件,對(duì)其進(jìn)行理論分析,研究入射光的角度,入射光的波長(zhǎng),納米線直徑對(duì)GaAs納米線陣列光陰極的影響。仿真結(jié)果表明隨著入射光與垂直方向夾角的增大,GaAs納米線陣列光陰極的光譜響應(yīng)先增大后減小,這個(gè)特性與薄膜結(jié)構(gòu)有
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