BST薄膜電容高頻性能表征研究.pdf_第1頁
已閱讀1頁,還剩66頁未讀, 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進行舉報或認領

文檔簡介

1、近年來,隨著無線通信行業(yè)的快速發(fā)展,諸如通信衛(wèi)星、LTE通信設備、光纖通信設備等,對于微波電路在不同頻率下的設計和工作都提出了更高的要求??烧{(diào)介質(zhì)薄膜材料作為可調(diào)微波器件的重要組成部分越來越受到人們的關注。而對材料性能的了解對于制備低損耗、高調(diào)諧率的可調(diào)器件是非常重要的。由于材料性質(zhì)一般和頻率相關,特別是在射頻和微波頻段時,材料的低頻性能如介電損耗等很難代表材料高頻時的真實性能。而且,高頻時電極的寄生效應和相關外圍電路都會對測試結(jié)果產(chǎn)生

2、較大的影響。因此,找到一種行之有效的對于可調(diào)介質(zhì)薄膜的準確測試方法是關鍵。
  本論文以鈦酸鍶鋇(BaxSr1-xTiO3)鐵電薄膜為材料制備了高性能的變?nèi)莨?,并提出了可行的高頻測試方案,同時研究了變?nèi)莨芙Y(jié)構(gòu)對于其性能的影響,主要研究結(jié)果如下:
 ?。?)通過電子束蒸發(fā)、射頻磁控濺射系統(tǒng)和微細加工技術制備了BST鐵電薄膜變?nèi)莨堋?br>  (2)系統(tǒng)闡述了不同結(jié)構(gòu)的平行板電容器的測試方法,包括同心圓結(jié)構(gòu),單端口GSG結(jié)構(gòu)和雙

3、端口GSG結(jié)構(gòu)。比較了各個測試方案的優(yōu)缺點。
 ?。?)研究了電極厚度和不同電容尺寸對于器件的電容和Q值的影響。電極厚度方面,隨著電極厚度的增加,高頻時器件的 Q值會有一個明顯的改善。有效電容面積方面,低頻和高頻時都存在著不同程度的尺寸效應。低頻時,隨著電容面積增大,電容密度減小,Q值增大;高頻時,隨著電容面積增大,電容密度減小,Q值減小。對于相同面積不同形狀的變?nèi)莨軄碚f,高頻時電容密度存在著尺寸效應,周長越長的有效電容形狀有著更

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論