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1、根據(jù)光的散射理論可知,當(dāng)光照射粗糙表面時(shí)會(huì)發(fā)生散射現(xiàn)象。本文利用氬離子激光器作為光源,將其發(fā)出的光束通過(guò)激光整形系統(tǒng)后變成橢圓光,然后用其照射待檢盤(pán)片表面。由于盤(pán)片表面疵病的作用而發(fā)生散射現(xiàn)象,通過(guò)分析散射光和反射光便可以得到被測(cè)盤(pán)片表面的特性。
文中從散射角和散射光能量?jī)蓚€(gè)方面,討論了光學(xué)設(shè)計(jì)軟件ZEMAX中的四種散射模型,再結(jié)合硬盤(pán)盤(pán)片表面疵病的粗糙度等級(jí),從中選擇了一種合適的模型來(lái)反映盤(pán)片表面的散射情況,然后利用光學(xué)設(shè)計(jì)
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