2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁(yè)
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1、由氫化微晶硅(μc-Si∶H)與氫化非晶硅(a-Si∶H)構(gòu)成的a-Si∶H/μc-Si∶H疊層太陽(yáng)電池(micromorph電池),可以更充分地利用太陽(yáng)光,并且可以將光學(xué)吸收譜的紅限波長(zhǎng)拓展到1100nm左右。正因?yàn)槿绱?,micromorph電池被認(rèn)為是硅基薄膜電池的新一代技術(shù),是實(shí)現(xiàn)低成本硅基薄膜太陽(yáng)電池的重要技術(shù)途徑,也是薄膜電池產(chǎn)業(yè)化的新方向。但是由于a-Si∶H電池具有光致衰退效應(yīng),以及μc-Si∶H電池的工藝窗口窄,制備難度

2、大,而阻礙了micromorph電池的進(jìn)一步發(fā)展與應(yīng)用。
   器件質(zhì)量級(jí)μc-Si∶H材料的制備是實(shí)現(xiàn)高效率μc-Si∶H太陽(yáng)電池的關(guān)鍵。本論文采用射頻等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(RF-PECVD)技術(shù),通過(guò)高氫稀釋技術(shù)制備具有超高結(jié)晶率的籽晶層材料,并研究了各個(gè)工藝參數(shù)對(duì)μc-Si∶H體材料的性質(zhì)的影響,最后討論了將μc-Si∶H材料應(yīng)用到μc-Si∶H電池以及micromorph電池中的情況。本論文的研究工作主要分為以下幾個(gè)

3、方面:
   一、具有超高結(jié)晶率的籽晶層的制備在本論文的實(shí)驗(yàn)研究中,發(fā)現(xiàn)經(jīng)過(guò)5%的HF溶液腐蝕8分鐘后的玻璃,有利于籽晶層的制備;在非晶玻璃襯底上生長(zhǎng)μc-Si∶H材料,材料會(huì)在生長(zhǎng)方向上表現(xiàn)出不均勻性,即厚度越大,材料的晶化率越高。經(jīng)過(guò)優(yōu)化,制備出了厚度為45nm,具有[220]擇優(yōu)晶向,且晶化率高達(dá)88.15%的籽晶層材料。
   二、各個(gè)工藝參數(shù)對(duì)體材料的作用與影響在具有超高結(jié)晶率籽晶層的基礎(chǔ)上研究了各個(gè)工藝參數(shù)對(duì)

4、體材料的作用與影響。結(jié)果表明:(1)在一定的范圍內(nèi),襯底溫度的提高,有利于放氫環(huán)境的改善,沉積的薄膜性能變好。(2)沉積壓強(qiáng)通過(guò)影響等離子體中的電子溫度的高低,來(lái)間接地對(duì)μc-Si∶H薄膜材料的沉積速率和質(zhì)量產(chǎn)生影響。(3)硅烷濃度是決定材料結(jié)晶率的關(guān)鍵因素。(4)輝光功率在制備器件質(zhì)量級(jí)μc-Si∶H材料的過(guò)程中,起著十分關(guān)鍵的作用。選擇合適的輝光功率,既能保證材料有一定的晶化,又能避免重離子對(duì)薄膜的轟擊損傷。
   以上各個(gè)

5、工藝參數(shù)間相互影響、相互制約,故需要找到一個(gè)最佳的工藝參數(shù)組合點(diǎn),才能制備出性能較好的材料。經(jīng)過(guò)優(yōu)化組合,制備出了結(jié)晶率為54.73%,光敏性在1000左右,且具有一定的[220]擇優(yōu)取向的μc-Si∶H材料。
   三、μc-Si∶H材料在μc-Si∶H薄膜電池中的應(yīng)用我們把μc-Si∶H材料應(yīng)用到μc-Si∶H薄膜電池中,并對(duì)P層和I/N界面進(jìn)行了優(yōu)化,制備出了效率為4.25%(Jsc:14.15mA/cm2、Voc:0.5

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