平面光柵衍射效率的測試與分析.pdf

1、碩士學位論文論文題目平面光柵衍射效率的測試與分析研究生姓名陳剛指導教師姓名陳琦專業(yè)名稱機械制造及自動化研究方向平面光柵衍射效率測試論文提交日期2013年4月平面光柵衍射效率的測試與分析中文摘要I平面光柵衍射效率的測試與分析中文摘要光柵的衍射效率的質量是光柵最重要的技術指標，在很大程度上影響了光譜儀器的能量傳輸性能，衍射效率的檢測在光柵的生產(chǎn)和研制中具有很大的意義，對于衍射效率的研究在科研中也可以促進光柵理論的發(fā)展。我們一般使用兩種方法來

2、對光柵的衍射效率進行測量，一種是“線譜法”，這種方法是人工手動的測量方法，是應用我們所已知的標準譜線，做為實驗單色光來對光柵進行逐點測量，這些測量值最終被連接而成為相對衍射效率曲線；這種方法一般測量的結果準確性還是比較高的，但是由于我們所使用的標準譜線的數(shù)量比較少，并且人工測量過程本身容易引人測量誤差，所以能夠測量的特定波長的衍射效率也有限；另一種是“連續(xù)掃描法”，“連續(xù)掃描法”屬于自動測量方法，整個測量都是在儀器中自動完成的，測量結束

3、以后儀器會繪制出相應的衍射效率曲線，也會避免由于人工測量而引進的誤差，因此，這種方法是我們理想的光柵衍射效率的測量方法。本論文利用國家“十一五”科技支撐計劃重大項目——高分辨率分光器件的開發(fā)與研制所得到的成果，使用平面光柵衍射效率全自動測試儀對光柵相對衍射效率進行測量和分析，并對測量結果和儀器測量性能進行分析。本論文主要分為三個部分。首先，介紹衍射光柵的歷史，基本特性、主要性能指標和測試方法。第二部分，詳細論述效率測試儀光學系統(tǒng)的設計過

4、程。對光源系統(tǒng)、前置單色儀系統(tǒng)、測量單色儀系統(tǒng)和接收器的具體結構和性能指標分別進行了詳述。第三部分，運用衍射效率測試儀對光柵進行了實際測量，得出不同刻度光柵的衍射效率曲線，并加以比較。最后對光柵效率儀器的測量性能進行分析。測量結果均達到預期要求。分析表明，不同刻度的光柵在相同入射光波長下的衍射效率是不同的，同一光柵在不同波長入射光下的衍射效率也是不同的，影響光柵相對衍射效率測量結果的因素有光柵的刻線密度，反射鏡的反射率，入射光的波長以及