紫外LED光刻光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與研究.pdf

1、投影照明系統(tǒng)和投影光刻成像系統(tǒng)是紫外LED光刻投影光刻光學(xué)系統(tǒng)的重要組成部分，本文根據(jù)工程需要分別對(duì)這兩個(gè)部分加以設(shè)計(jì)和研究。
　　照明系統(tǒng)是投影光刻機(jī)的關(guān)鍵部件，要求具有良好的照明均勻性，其性能直接影響到光刻的質(zhì)量。對(duì)目前的照明系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，一般采用白熾燈、熒光燈或者HID、準(zhǔn)分子激光器、半導(dǎo)體激光器作為光刻光源，此類(lèi)光源有的不夠節(jié)能，有的不夠環(huán)保，有的價(jià)格昂貴，另外它們體積都比較大，難于實(shí)現(xiàn)光刻機(jī)照明系統(tǒng)的小型化。
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2、代照明光源紫外LED不僅具有高光效、低能耗、長(zhǎng)壽命，而且性能穩(wěn)定、安全性好等優(yōu)點(diǎn)。相比于其他傳統(tǒng)光源，紫外LED厘米量級(jí)的光源尺寸使其成為小型照明系統(tǒng)的理想光源。采用自由曲面光學(xué)器件對(duì)紫外LED進(jìn)行二次光學(xué)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)小型高效的紫外LED照明系統(tǒng)，而且能夠降低其生產(chǎn)成本。本文根據(jù)實(shí)際工程需要利用非成像光學(xué)軟件tracepro設(shè)計(jì)出一個(gè)小體積的非球面鏡，形成12mm*12mm的方形均勻光斑的照明面，實(shí)現(xiàn)了光刻照明系統(tǒng)的小型化。
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