背照式CCD圖像傳感器工藝技術(shù)研究.pdf

1、介紹了CCD圖像傳感器的原理、CCD圖像傳感器的制造技術(shù)，背照式CCD圖像傳感器的現(xiàn)狀及發(fā)展，背照式圖像傳感器工作原理、工藝原理、結(jié)構(gòu)及應(yīng)用情況。著重介紹了背照式圖像傳感器設(shè)計(jì)及制作的關(guān)鍵工藝技術(shù)，并給出了器件的性能測試結(jié)果。
　　設(shè)計(jì)了背照式CCD圖像傳感器，包括縱向和橫向結(jié)構(gòu)，說明了設(shè)計(jì)的理由。給出了重要參數(shù)的設(shè)計(jì)值及其計(jì)算過程。
　　背照式CCD圖像傳感器工藝是正照CCD圖像傳感器工藝與背照工藝的結(jié)合，正照CCD工藝在

2、文中稱為前部工藝，與背照工藝關(guān)密切相關(guān)，針對背照工藝的特點(diǎn)，設(shè)計(jì)并進(jìn)行了與常規(guī)不同的前部工藝流程與具體工藝條件，制作出了滿足背照工藝開發(fā)要求的CCD圖像傳感器。
　　背照式圖像傳感器工藝復(fù)雜，制作難度和制作成本均明顯高于正照式圖像傳感器，其性能也明顯優(yōu)于正照式圖像傳感器，文中按照工藝次序依次介紹了如何將正照式圖像傳感器制作成背照式圖像傳感器。
　　通過制作夾具，選擇不同類型的粘接膠，最終實(shí)現(xiàn)了6英寸圓片級粘接工藝，整個圓片內(nèi)

3、厚度均勻性小于10微米。研究了背面減薄工藝對圖像傳感器成像質(zhì)量和量子效率的影響，開發(fā)了研磨減薄與濕法腐蝕減薄相結(jié)合的方法，成功將圓片減薄至15微米以下。闡述了背照式圖像傳感器減薄及背面鈍化的機(jī)理，介紹了背面鈍化工藝的發(fā)展及基本原理，通過離子注入的方式形成背面鈍化層，由于不能采用高溫爐管退火，因此開發(fā)了激光退火工藝，成功激活了注入的雜質(zhì)，實(shí)現(xiàn)了背面鈍化。
　　通過對工藝開發(fā)及優(yōu)化，研制出了背照式圖像傳感器，經(jīng)參數(shù)測試器件性能指標(biāo)達(dá)到