SiC單晶的表面清洗和化學(xué)蝕刻研究.pdf_第1頁(yè)
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1、工學(xué)工學(xué)碩士學(xué)位論文碩士學(xué)位論文SiC單晶的單晶的表面清洗和化學(xué)表面清洗和化學(xué)蝕刻研究蝕刻研究SURFACECLEANINGCHEMICALETCHINGOFSiCSINGLECRYSTALS趙淑貞趙淑貞哈爾濱工業(yè)大學(xué)哈爾濱工業(yè)大學(xué)2013年6月ClassifiedIndex:V254.2U.D.C:430.25DissertationftheMasterDegreeinScienceSURFACECLEANINGCHEMICALETC

2、HINGOFSiCSINGLECRYSTALSCidate：ZhaoShuzhenSupervis：Prof.GanYangAcademicDegreeAppliedf：MasterofEngineeringSpeciality：ChemicalEngineeringTechnologyAffiliation：SchoolofChemicalEngineeringTechnologyDateofDefence：June2013Degre

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