基于SPM圖像的探針模型重構(gòu)算法研究.pdf_第1頁(yè)
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1、表面形貌的表征一直是材料科學(xué)、地質(zhì)學(xué)及生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域的研究熱點(diǎn)，物品表面形貌的好壞能直接影響到使用壽命、系統(tǒng)性能等，因此在對(duì)樣品進(jìn)行表面表征時(shí)，要求測(cè)量準(zhǔn)確，樣品表面的特征無(wú)損傷。近幾年微納技術(shù)迅猛發(fā)展，對(duì)表面微觀形貌的尺度表征的精度需求也與日俱增。掃描探針顯微鏡(SPM)是作為新型高分辨率顯微鏡已成功吸引人們眼球，在微納檢測(cè)中占主導(dǎo)地位。但是由于在掃描測(cè)量的過(guò)程中，探針會(huì)參與其中，這樣一來(lái)，所測(cè)得的圖像并不是樣品表面真實(shí)形貌的反應(yīng)，是

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