穆勒矩陣橢偏測量實驗平臺設計與實現.pdf

1、在納米技術研究和納米制造工藝等應用領域，納米結構測量方法研究日顯重要。在納米測量實際操作中，不僅需要快捷、精確地測量出納米結構重要三維形貌尺寸，同時需要盡可能減小對被測樣品的破壞和污染。由于傳統(tǒng)納米結構測量手段無法同時滿足上述兩點，本學位論文在國家重大科學儀器設備開發(fā)專項的資助下，研究穆勒矩陣橢偏測量實驗平臺的設計與實現。主要工作如下：
　　完成了一種雙旋轉補償器的穆勒矩陣橢偏測量光路的設計，并通過分析比較關鍵元件選型，確定了光學

2、硬件組成。重點介紹了光學硬件平臺的設計，并結合光路設計和相應光學元件選型，將起偏光路和檢偏光路最大程度的集成到一個光學平臺上，并以此為基礎開展測量實驗平臺控制單元的搭建和調試。
　　完成了基于雙旋轉補償器同步運動控制的設計與實現，即通過實時采集兩個帶動補償器旋轉的電機零位信號，當兩個電機處于同步狀態(tài)時，所設計的同步信號觸發(fā)采集卡向光譜儀外部觸發(fā)接口發(fā)出光譜采集信號，完成對測量數據精確的同步采集。
　　在測量實驗平臺所需的光學