穆勒矩陣橢偏儀變角機構設計與實現.pdf

1、穆勒矩陣橢偏儀是一種先進的光學測量儀器,與常規(guī)測量儀器相比，具有非接觸、非破壞、快速和信息量豐富等優(yōu)良特性。穆勒矩陣橢偏儀通過多入射角、多方位角等測量條件優(yōu)化配置，可以實現納米結構更高精度測量。變角機構是穆勒矩陣橢偏儀實現多角度測量的關鍵，是橢偏儀的重要組成部分。變角機構的性能直接影響著整個儀器的測試準確度和測試精度。本論文著重研究穆勒矩陣橢偏儀變角機構的機械設計與實現，論文研究工作主要包括以下幾個方面：
　　通過對比分析現有橢偏

2、儀產品結構設計，并對不同類型變角機構的運動方式和優(yōu)缺點進行分析比較。根據實際需求制定變角機構的整體設計方案。在此基礎上，通過變角機構載荷核算，求出整個裝置所需輸入轉矩，完成電機選型。
　　基于變角機構設計方案，完成零部件的參數設計和三維實體造型；借助于Pro/E Wildfire軟件平臺對零部件進行虛擬裝配，檢測元件間的干涉情況。通過Pro/E的仿真模塊，查看機構的整體運動軌跡，并對角度、角加速度以及受力的仿真結果進行分析，對設計