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文檔簡介
1、熔體生長方式中的直拉法是目前生產單晶硅材料的主要方式。西安理工大學設計的新型網絡化單晶爐控制系統,主控制器是以PLC為核心的,控制算法全部是經典的PID算法,其整個結構用CANopcn網絡化。這類控制系統存在對網絡的依存度較高·而且基于PLC的控制系統成本較高和模型預測控制等復雜控制算法時受編程軟件的限制難以實現。對高品質晶體的生長控制造成困難等等。因此,很有必要設計研究以嵌入式硬件為平臺的單晶爐控制系統并引進先進控制算法。
2、針對以上問題本文提出設計低成本的嵌入式硬件單晶爐控制系統,整個控制系統基于MC9S12DGl2$馓處理器為核心,并針對單晶爐系統的大滯后特性和晶體生長是需要溫度穩(wěn)定的變化要求引進基于模型的預測控制算法以提高晶體生長的品質。通過軟件和硬件的結合,實現現有的單晶爐控制系統的智能模塊到智能控制器的轉變,為低成本晶體生長系統的實現提高了一條途徑,同時又降低系統對網絡的依存度,提高整體單晶爐的可靠性。
本文具體設計了溫度控制系統的子系統
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