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文檔簡介
1、飛行時間(Time of Flight, TOF)三維測距儀器具有體積小、工作速度快等特點,廣泛地應(yīng)用于人機(jī)交互、機(jī)器視覺等多個領(lǐng)域,有很高的研究價值,而圖像傳感器是 TOF三維測距儀器的關(guān)鍵組成部分。論文針對應(yīng)用于 TOF三維測距的CMOS圖像傳感器,設(shè)計了像素結(jié)構(gòu),優(yōu)化了像素的工藝條件,并在此基礎(chǔ)上設(shè)計了一款CMOS圖像傳感器,論文的主要工作如下:
(1)針對TOF三維測距方法的特性,對比分析了CCD和CMOS兩種圖像傳感
2、器的特點,確定了用于TOF三維測距的CMOS圖像傳感器的設(shè)計要求。
(2)在深入分析TOF三維測距原理的基礎(chǔ)上,給出了通過測量調(diào)制信號四個相位信息的TOF方法,實現(xiàn)在圖像傳感器上的三維測距。
(3)為了減小了電荷的橫向傳輸距離,本文設(shè)計了像素結(jié)構(gòu),采用將像素分成兩部分的方法。并使用TCAD優(yōu)化了N摻雜的注入能量和注入劑量,提高像素的電荷傳輸速度,最后基于0.18mm工藝設(shè)計了一款256′256的 CMOS圖像傳感器。
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