測量型顯微CT系統(tǒng)的定值方法.pdf

1、測量型CT系統(tǒng)作為一種新型的坐標(biāo)測量技術(shù)在近年來逐步受到人們的認(rèn)可，國內(nèi)外的諸多科研機構(gòu)對其也在持續(xù)進行相關(guān)的研究，并取得了一定成果。由于測量型CT系統(tǒng)多具有X射線源、機械運動系統(tǒng)、平板探測器、掃描數(shù)據(jù)重建模塊等多種組成部分，這就導(dǎo)致了其測量誤差來源極為復(fù)雜。顯微CT在平板探測器的基礎(chǔ)上，新增了光耦探測器單元，提高了CT系統(tǒng)的空間分辨力，同時擴大了CT系統(tǒng)的測量范圍，使其能夠?qū)Τ叽鐝奈⒚琢考壍桨傥⒚琢考壍臉悠愤M行幾何量測量。但由于其包含

2、了閃爍體、顯微物鏡、管鏡及CCD等組件，結(jié)構(gòu)相較于平板探測器更為復(fù)雜，使得測量誤差來源范圍進一步擴大。這使得其測量的準(zhǔn)確性的提升以及測量不確定度的量值溯源變得尤為困難。本文針對顯微CT的計量特性制訂了一套校準(zhǔn)方案，設(shè)計了可用于校準(zhǔn)顯微CT探測形狀誤差及探測尺寸誤差的微球標(biāo)準(zhǔn)器以及可用于校準(zhǔn)顯微CT探測形狀誤差及長度測量誤差的微型球板標(biāo)準(zhǔn)器和微型孔板標(biāo)準(zhǔn)器，使用微納坐標(biāo)測量機、圓度儀與計量型掃描電子顯微鏡對其進行定值，然后用其對顯微CT的