行波管關(guān)鍵工藝技術(shù)研究.pdf

1、行波管是一種放大微波信號的電真空器件，廣泛應(yīng)用于雷達、電子對抗、通信等領(lǐng)域。隨著行波管的快速發(fā)展，對工藝技術(shù)的一致性和穩(wěn)定性提出了更高的要求。行波管的生產(chǎn)流程涉及的工序眾多，目前除了部分工序可以實現(xiàn)自動化控制，多數(shù)工序還處于手工操作的狀態(tài)，生產(chǎn)效率低下，工藝的一致性無法得到保證，導(dǎo)致了行波管的可靠性較低。夾持桿是螺旋線行波管的關(guān)鍵件，本文主要對螺旋線行波管夾持桿蒸碳的自動控制系統(tǒng)進行研究。在原工藝方法的基礎(chǔ)上，通過研制自動控制系統(tǒng)，提高

2、了一致性和生產(chǎn)效率。
　　本研究主要內(nèi)容包括：⑴分析衰減薄膜的制備要求、工藝方法，提出實現(xiàn)蒸碳工藝過程自動控制的需求。⑵在設(shè)計自動控制系統(tǒng)時，下位機采用PLC控制器，上位機采用工控專用觸摸式一體機，并根據(jù)控制要求，采用西門子STEP7-Micro/WIN編程軟件和語句表（STL）編程語言實現(xiàn)自動控制系統(tǒng)的功能。在實現(xiàn)過程中，構(gòu)建了系統(tǒng)的控制系統(tǒng)、數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)，實現(xiàn)了工藝參數(shù)組的設(shè)置以及自動控制軟件的編寫等。⑶研制了夾持桿衰減薄膜制