批間控制器性能評估算法研究.pdf

1、半導(dǎo)體制造業(yè)在國民經(jīng)濟建設(shè)、社會發(fā)展和國家安全中處于重要的戰(zhàn)略地位，促進了經(jīng)濟的持續(xù)增長，推動了信息產(chǎn)業(yè)的（通信、計算機、信息家電以及網(wǎng)絡(luò)技術(shù)）發(fā)展。在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，控制器性能的優(yōu)劣直接關(guān)系到晶圓的質(zhì)量，然而控制器的性能會隨著時間推移而退化，要保證生產(chǎn)過程安全、高效、低耗的運行，必須在控制回路中加入性能監(jiān)控與評估單元。本文從混合制程的特點出發(fā)，在批間控制框架下，基于最小二乘算法和貝葉斯理論，針對制程中擾動的多樣性，研究批間控制器性能

2、評估問題，其主要內(nèi)容如下：
　　1.在半導(dǎo)體加工過程中，往往存在模型不匹配現(xiàn)象。為此，本文基于最小二乘辨識算法，提出了一種批間控制器性能評估的可達基準(zhǔn)。首先，在分析方差對批間控制器性能影響的基礎(chǔ)上，給出可達基準(zhǔn)的表達式，并利用滾動時間窗口和最小二乘算法估算出待測參數(shù)。然后分別以thread-EWMA控制器與double-EWMA控制器為例，驗證本文所提出可達基準(zhǔn)的有效性，以及模型不匹配參數(shù)對控制器性能的影響。
　　2.針對系

3、統(tǒng)擾動的多樣性，本文在最小二乘參數(shù)辨識的基礎(chǔ)上，依據(jù)ARMAX模型和貝葉斯理論，提出了一種基于貝葉斯后驗概率的性能評估基準(zhǔn)。首先，給出不同擾動的擾動估計的表達式，并建立 ARMAX模型；若控制器性能衰退，則制程的 ARMAX模型參數(shù)發(fā)生漂移，將控制器性能信息按加工時間順序劃分為兩個相鄰的滾動時間窗口，基于貝葉斯后驗概率函數(shù)，及時捕獲后一個滾動時間窗口內(nèi)參數(shù)發(fā)生漂移的概率，從而判斷控制器性能是否衰退；然后分析模型不匹配、不協(xié)調(diào)因子、測量時