全差分電容式傳感的CMOS讀出電路設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf

1、MEMS加速度傳感器以其各種優(yōu)越的性能在軍事與商業(yè)設(shè)備中得到廣泛應(yīng)用，它包括MEMS傳感器和IC讀出電路兩部分。近年來，由于其高精度、高穩(wěn)定性在精密儀器探測中得到了特殊的應(yīng)用。MEMS加速度傳感器又稱微加速度計(jì)，有壓阻式和電容式等多種結(jié)構(gòu)，但從綜合性能看，電容式微加速度計(jì)的綜合性能最優(yōu)，同時(shí)檢測差分電容變化的讀出電路技術(shù)也非常成熟。微小電容讀出電路可以分為三種：連續(xù)電壓讀出、連續(xù)電流讀出與全差分開關(guān)電容讀出電路。
　　本研究主要內(nèi)

2、容包括：⑴前置電荷運(yùn)算放大器、開關(guān)電容低通濾波器、輸出緩沖器等模塊結(jié)構(gòu)選取與其設(shè)計(jì)；⑵帶隙電壓、帶隙電流、8bits可編程補(bǔ)償電容陣列與時(shí)鐘模塊結(jié)構(gòu)選取與設(shè)計(jì)；⑶消除噪聲與失調(diào)電壓----斬波穩(wěn)定技術(shù)被利用在前置電荷運(yùn)算放大器中可以實(shí)現(xiàn)降低低頻噪聲，同時(shí)減少失調(diào)電壓。對(duì)它們的原理進(jìn)行了詳細(xì)介紹，通過考慮非理想因素指出影響電容檢測電路線性度、最小分辨率的主要因素，本系統(tǒng)為了檢測更小的電容，低噪聲要求也是全芯片系統(tǒng)的設(shè)計(jì)關(guān)鍵。設(shè)計(jì)過程采用了