高性能金屬線柵型太赫茲偏振器的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、太赫茲（THz）波是指頻率在0.1-10THz范圍內的電磁波。THz偏振器是太赫茲系統(tǒng)的關鍵器件之一，其性能的好壞直接影響到THz技術在探測、通信、天文、生物醫(yī)學等領域中的應用。
　　本文以金屬線柵型太赫茲偏振片為研究對象，從理論仿真和實驗加工兩個方面開展研究，提出并實現(xiàn)了一種新型兩面雙層金屬線柵型結構的超高消光比 THz偏振器，主要內容如下：
　　1、基于CST STUDIO軟件仿真建立了金屬線柵型太赫茲偏振器的仿真模型，

2、詳細分析了單面單層、單面雙層和兩面雙層結構THz偏振器的器件參數(shù)對其性能的影響，證實了本文提出的兩面雙層結構THz偏振器具有高消光比的特性，其理論計算的消光比是單面單層結構的近4倍。
　　2、詳細研究了金屬線柵型太赫茲偏振器的微納加工工藝，利用表面生長氮化硅層的硅片作為基底，避免了雙層加工后直接鍍膜引起的透過率降低等問題，實現(xiàn)了周期4微米，線寬2微米，刻蝕深度1微米的兩面雙層金屬線柵型THz偏振器的制備。
　　3、采用太赫茲

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