太赫茲可調(diào)濾波器研究.pdf

1、太赫茲波具有諸多顯著的特性及其在各領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，特別地，太赫茲波以其在通信領(lǐng)域的得天獨(dú)厚的優(yōu)勢(shì)引起國(guó)內(nèi)外學(xué)者的廣泛研究。太赫茲可調(diào)濾波器作為關(guān)鍵無緣元件，是太赫茲可重構(gòu)通信系統(tǒng)的重要組成部分，廣泛應(yīng)用于太赫茲波段的調(diào)頻電臺(tái)、多功能接收機(jī)、電子對(duì)抗等方向，所以，研制高性能的太赫茲可調(diào)濾波器對(duì)于太赫茲通信領(lǐng)域的發(fā)展至關(guān)重要，這對(duì)我國(guó)發(fā)展太赫茲通信系統(tǒng)有著非常重要的意義。結(jié)合MEMS技術(shù)，采用多形式的熱電驅(qū)動(dòng)微執(zhí)行器，設(shè)計(jì)新穎的調(diào)諧方案以實(shí)

2、現(xiàn)高性能的太赫茲可調(diào)濾波器是本文的研究重點(diǎn)。本文所做的工作和取得的主要研究成果為：
　　1．詳細(xì)闡述了微執(zhí)行器各驅(qū)動(dòng)方式的基本原理和微執(zhí)行器設(shè)計(jì)要點(diǎn)，結(jié)合MEMS技術(shù)的最新發(fā)展，選擇了先進(jìn)的PolyMUMs加工工藝。從濾波器綜合理論出發(fā)，推出了可調(diào)濾波器穩(wěn)定條件，并結(jié)合濾波器綜合理論，提出了 H面膜片耦合波導(dǎo)帶通濾波器快速設(shè)計(jì)方法。這些工作為后面的微執(zhí)行器設(shè)計(jì)和太赫茲可調(diào)濾波器設(shè)計(jì)奠定了理論基礎(chǔ)。
　　2．基于優(yōu)勢(shì)突出的熱驅(qū)

3、動(dòng)方式，設(shè)計(jì)了可實(shí)現(xiàn)垂直于平面位移的蛇形級(jí)聯(lián)Bimorph微執(zhí)行器和可實(shí)現(xiàn)平行于平面位移的對(duì)稱U型梁微執(zhí)行器，采用Ansys軟件對(duì)其進(jìn)行仿真優(yōu)化分析，最終完成版圖繪制、加工、裝配測(cè)試。Bimorph微執(zhí)行器的測(cè)試結(jié)果達(dá)到預(yù)期，U型梁微執(zhí)行器未測(cè)試出性能，并對(duì)其進(jìn)行了詳細(xì)的原因分析。
　　3．首次提出了四種基于波導(dǎo)的可用于太赫茲波段的新穎的調(diào)諧方式，這幾種調(diào)諧方式都將盡量避免引入微執(zhí)行器影響作為設(shè)計(jì)前提，以期實(shí)現(xiàn)高性能。其中兩種調(diào)諧